本系列是由無油爪泵和無油分子真空泵串聯(lián)而成， 結合了兩種泵的優(yōu)點，結構緊湊，運行可靠。本單位是 國內唯一家具有干式分子泵機組的廠家。由于分子泵啟 動條件比較嚴格，對前級泵的極限真空度要求比較苛 刻，必須在干泵真空度抽到<10Pa 后，分子泵才可以 啟動，這樣可以獲得較高的真空度。廣泛用于：真空實 驗室等特殊無油高空度環(huán)境。用無油爪泵做前級泵，對 被抽環(huán)境無污染，無返油，維護周期長，且能維持長期 穩(wěn)定的極限壓力。
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