產(chǎn)品分類導(dǎo)航
2025制藥工業(yè)深圳展
薄膜沉積冷水機(jī)/水冷機(jī)/直冷機(jī)chiller
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薄膜沉積冷水機(jī)/水冷機(jī)/直冷機(jī)chiller

更新時(shí)間:2025-06-12

價(jià)格:
品牌: 冠亞恒溫
型號(hào): FLTZ-002
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產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體冷水機(jī),chiller,精密溫控冷水機(jī),高低溫測(cè)試機(jī),熱流儀
是否為生產(chǎn)商:
最低訂購量: 1
供貨能力: 100
付款方式: 依據(jù)合同為準(zhǔn)
交貨周期: 45個(gè)工作日
主要銷售市場(chǎng): 中國,北美洲,中/南美洲,西歐,亞洲,非洲
產(chǎn)品描述:

單通道冷水機(jī)在工業(yè)溫控領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,其性能直接關(guān)乎半導(dǎo)體、電子制造等高精度場(chǎng)景的工藝穩(wěn)定性。

一、單通道冷水機(jī)的核心工作原理

單通道冷水機(jī)通過制冷劑在閉式系統(tǒng)中的狀態(tài)變化實(shí)現(xiàn)熱量轉(zhuǎn)移,主要由壓縮機(jī)、冷凝器、膨脹閥和蒸發(fā)器四大部件構(gòu)成循環(huán)系統(tǒng)。

1、壓縮機(jī)的提升作用

壓縮機(jī)是循環(huán)的動(dòng)力源,其作用是將低溫低壓的制冷劑氣體壓縮為高溫高壓氣體,提升制冷劑的品位。單級(jí)壓縮機(jī)通過活塞或渦旋結(jié)構(gòu)對(duì)制冷劑做功,而復(fù)疊式壓縮機(jī)則通過多個(gè)單級(jí)壓縮機(jī)的組合,實(shí)現(xiàn)更低溫度的制冷。

2、冷凝器的熱釋放過程

冷凝器負(fù)責(zé)將壓縮機(jī)排出的高溫高壓制冷劑氣體的熱量釋放到外界環(huán)境中,使其冷凝為液體。  

3、膨脹閥的節(jié)流降壓功能

膨脹閥是系統(tǒng)中的節(jié)流元件,高溫高壓的制冷劑液體流經(jīng)膨脹閥時(shí),由于通道截面積突然縮小,壓力急劇下降,溫度也隨之降低,變?yōu)榈蜏氐蛪旱臍庖簝上嗷旌衔?。單通道冷水機(jī)多采用電子膨脹閥,可根據(jù)傳感器反饋的溫度、壓力信號(hào)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)開度,確保進(jìn)入蒸發(fā)器的制冷劑流量與負(fù)荷相匹配。

4、蒸發(fā)器的吸熱制冷機(jī)制

蒸發(fā)器是實(shí)現(xiàn)制冷的關(guān)鍵部件,低溫低壓的制冷劑在蒸發(fā)器中吸收載冷劑的熱量,發(fā)生汽化,從而降低載冷劑的溫度。蒸發(fā)器的結(jié)構(gòu)形式多樣,沉浸式蒸發(fā)器使制冷劑直接與載冷劑接觸換熱,板式蒸發(fā)器則通過金屬板壁傳遞熱量。

二、制冷性能的關(guān)鍵影響因素

1、運(yùn)行工況的直接作用

①蒸發(fā)溫度:蒸發(fā)溫度是制冷劑在蒸發(fā)器中汽化時(shí)的溫度,直接決定了冷水機(jī)的制冷能力。當(dāng)蒸發(fā)溫度降低時(shí),制冷劑與載冷劑之間的溫差減小,吸熱的能力下降,制冷量隨之降低。  

②冷凝溫度:冷凝溫度是制冷劑在冷凝器中液化時(shí)的溫度,受冷卻介質(zhì)的溫度和流量影響。冷凝溫度升高時(shí),制冷劑與冷卻介質(zhì)的溫差增加,散熱難度增加,壓縮機(jī)排氣壓力升高,輸入功率上升。

2、系統(tǒng)控制策略的優(yōu)化作用

采用PLC可編程控制器,結(jié)合多種控制算法實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控溫。  

①PID控制算法:通過比例、積分、微分環(huán)節(jié)的協(xié)同作用,對(duì)溫度偏差進(jìn)行實(shí)時(shí)校正,使控溫精度高。PID算法根據(jù)載冷劑出口溫度與設(shè)定值的偏差,調(diào)節(jié)電子膨脹閥的開度和變頻泵的轉(zhuǎn)速,確保溫度穩(wěn)定。  

②前饋控制與自適應(yīng)調(diào)節(jié):針對(duì)負(fù)荷突變等情況,前饋控制可提前調(diào)整控制參數(shù),減少溫度波動(dòng)。

單通道冷水機(jī)的熱力學(xué)模型構(gòu)建需綜合考慮部件特性與循環(huán)參數(shù),通過準(zhǔn)確建??山沂鞠到y(tǒng)能效與工況、制冷劑、控制策略之間的內(nèi)在聯(lián)系。未來,隨著半導(dǎo)體等行業(yè)對(duì)溫控精度與低溫性能要求的提升,進(jìn)一步提升設(shè)備的可靠性,為制造領(lǐng)域提供更穩(wěn)定的溫控解決方案。

原理:
半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller(高精度冷熱循環(huán)器),適用于集成電路、半導(dǎo)體顯示等行業(yè),溫控設(shè)備可在工藝制程中精準(zhǔn)控制反應(yīng)腔室溫度,是一種用于半導(dǎo)體制造過程中對(duì)設(shè)備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置,其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理,通過控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力,帶走半導(dǎo)體工藝設(shè)備產(chǎn)生的熱量,從而實(shí)現(xiàn)精確的溫度控制,確保半導(dǎo)體制造過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
半導(dǎo)體Chiller高精度冷熱循環(huán)器按照不同產(chǎn)品類型,包括單通道和雙通道,主要有FLTZ變頻單通道系列(-100℃~+90℃)、FLTZ變頻多通道系列(-45℃~+90℃)、無壓縮機(jī)系列ETCU換熱控溫單元(+5℃-+90℃)
主要特征:

多通道獨(dú)?控溫,可以具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能?、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等,根據(jù)所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷,或者采?ETCU?壓縮機(jī)換熱系統(tǒng),系統(tǒng)可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統(tǒng)等,可以有效減少設(shè)備尺?,減少操作步驟。

無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
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